系统对于稳定性跟精度的要求近乎都是变态级的。
就好像阿斯麦最先进的极紫外光刻机,首先要将高功率二氧化碳激光脉冲经过几面绝对平整的镜片反射后,照射到一个直径仅仅只有30微米的锡滴液靶材上,然后激发出高功率的13.5纳米等离子体,并依靠这些等离子体产生波长为13.5纳米的euv光源对晶圆进行曝光雕刻。
其控制单元对于精度要求之高可见一斑。
虽然乔泽在论文中的设计,对于仪器精度的要求降低了不少。但这毕竟是光刻机,其功能是将无数的晶体管雕刻在硅晶圆上。对稳定性跟精度的要求摆在那里。
更重要的是,这玩意儿如果是真的话,那么相当于同时二十八台光刻设备同时工作,同时加工生产不同制程不同功能的芯片,而且每条通道还能根据生产需要,对光源进行即时调整。
其生产效率跟生产灵活性,要远远高于目前传统的光刻设备。
真的,读完第一篇论文之后布尔就已经彻底呆住了,他甚至懒得翻开第二篇论文。
想到现行的许多政策,华夏人如果真把这种设备造出来,不需要多,哪怕一年只能生产一台,这也是能直接吊打阿斯麦的存在。而且以华夏的工业储备潜力以及对高端光刻技术的渴望,这玩意真要走出了实验室,一年只生产一台几乎是不可能的。
大概要不了几年,这玩意就会遍地开花。
一旦开花之后,接下来可能发生什么,布尔都不敢往下想了。
这就真的很离谱了。
心神激荡之下,他立刻把康妮副主编又叫进了他的主编办公室。
……
“康妮,这篇论文已经有人审过了吧?告诉我,那些专业人士的意见。”
“是的,威尔逊主编,他们甚至已经用计算机进行了一定程度的推演跟验证,根据目前计算的结果,论文给出的数据真实性在百分之八十以上。还有那套控制系统,尝试用虚拟机进行验证,就是模拟了那些论文描述的元器件,然后使用那套系统进行模拟控制,嗯……怎么说呢……除开操作界面过于简陋之外,最终给出的评估分值
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