用有喷墨打印机的喷头！
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MEMS传感器，还可以广义去扩散。只要加工工艺对，哪怕没有相对运动部件，也可以归为此类。例如数码摄像机的摄像头！
从某种意义上来讲，只要尺度是毫米级别的传感器，肯定都是MEMS的天下了。其它任何一种工艺，都无法加工出这么细小级别的产品。
用有喷墨打印机的喷头！
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MEMS传感器，还可以广义去扩散。只要加工工艺对，哪怕没有相对运动部件，也可以归为此类。例如数码摄像机的摄像头！
从某种意义上来讲，只要尺度是毫米级别的传感器，肯定都是MEMS的天下了。其它任何一种工艺，都无法加工出这么细小级别的产品。